-

流量規(guī)格
0.5SCCM~20SLPM -

準確度
±0.5~1.0%Rd -

工作壓力
5kPaA~2MPaA可選 -

介質(zhì)溫度
-50℃~110℃可選
產(chǎn)品規(guī)格
| 型號 | T100 | T200 | T300 | T400 | T450 |
| 流量規(guī)格 | 20SCCM~20SLPM | 10SCCM~20SLPM | 0.5SCCM~20SLPM | 2SCCM~20SLPM | 2SCCM~20SLPM |
| 準確度 | ±1.0%F.S. (2%~100% F.S.) | 1.0%Rd(30%~100%F.S.) 0.3%F.S.(1%~30%F.S.) | 1.0%Rd(20%~100%F.S.) 0.2%F.S.(0.5%~20%F.S.) | 1.0%Rd(10%~100%F.S.) 0.1%F.S.(0.5%~10%F.S.) | 0.5%Rd(20%~100%F.S.) 0.1%F.S.(0.5%~20%F.S.) |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | 0.2%Rd(20%~100%F.S.) 0.04%F.S.(0.5%~20%F.S.) | 0.1%Rd(20%~100%F.S.) 0.02%F.S.(0.5%~20%F.S.) | ||
| 壓力漂移 | ≤±0.1%F.S./100kPa 基準壓力:100kPaA | ≤±0.1%Rd/100kPa 基準壓力:100kPaA | |||
| 溫度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃ 基準溫度:25℃ | ≤±0.02%F.S./℃ 基準溫度:25℃ | |||
| 零點漂移 | ±0.2%F.S. | ±0.1%F.S. | |||
| 工作范圍 | 2%~100%F.S. | 1%~100%F.S. | 0.5%~100%F.S. | ||
| 響應(yīng)時間 | ≤100ms | ||||
| 啟動預(yù)熱時間 | ≤1s | ||||
| 介質(zhì)溫度范圍 | 0℃~50℃ | -20℃~60℃ | |||
| 環(huán)境溫度范圍 | 0℃~50℃ | -20℃~50℃ | |||
滿量程壓損 | 10kPa(≤5SLPM);6kPa(10SLPM);8kPa(20SLPM) | ||||
| 耐壓 | 1.5 MPaA | ||||
最大工作壓力 | 900kPaA | ||||
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m3/s He | ||||
| 供電電壓 | 24V±20% | ||||
| 安裝方式 | 無指定(任意角度) | ||||
| 氣路接口 | G螺紋、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接氣部材質(zhì) | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材質(zhì) | 橡膠圈密封:FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、4~20mA / 0~5V | ||||
應(yīng)用場景
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下載手冊
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