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流量規(guī)格

0.5SCCM～5000SLPM
準確度

±0.5~1.0%S.P.
工作壓力

5kPaA-2MPaA可選
介質(zhì)溫度

-50℃~80℃可選

產(chǎn)品規(guī)格

型號	EC100	EC200	EC300	EC400	EC450
流量規(guī)格	20SCCM～500SLPM	10SCCM～500SLPM	0.5SCCM～5000SLPM	2SCCM～2000SLPM	2SCCM～2000SLPM
準確度	±1.0%F.S. (2%～100% F.S.)	±1.0%S.P.(30%～±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%～30%F.S.)	±1.0%S.P.(20%～100%F.S. ±0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.)	±1.0%S.P.(10%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～10%F.S.)	±0.5%S.P.(20%～100%F.S.) ±0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.)
重復精度	±0.2%F.S.		±0.2%Rd(20%～100%F.S. ±0.04%F.S.(0.5%～20%F.S.)	±0.1%Rd(20%～100%F.S.) ±0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.)
壓力漂移	≤±0.1%F.S./100kPa（基準壓力100kPaA)		≤±0.1%Rd/100kPa（基準壓力100kPaA)
溫度漂移	≤±0.05%F.S./℃（基準溫度25℃）		≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃）
零點漂移	±0.2%F.S.		±0.1%F.S.
工作范圍	2%～100%F.S.	1%～100%F.S.	0.5%～100%F.S.
響應(yīng)時間	≤800ms		≤600ms
啟動預熱時間	≤1s
介質(zhì)溫度范圍	0℃～50℃		-20℃～60℃
環(huán)境溫度范圍	0℃～50℃		-20℃～60℃
滿量程壓損	50kPa（≤5SLPM）；100kPa（10SLPM）；50kPa（20SLPM）； 200kPa（30~200SLPM）； 300kPa（500~1000SLPM）；400kPa（1500~2000SLPM）；450kPa（3000~5000SLPM）
耐壓	1.5 MPaA
最大工作壓力	600kPaA		900kPaA
漏率	≤1×10^-10 Pa·m3/s He
供電電壓	24VDC(±20%)
安裝方式	無指定（任意角度）
氣路接口	G螺紋、VCR、卡套、IGS
接氣部材質(zhì)	SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene
密封部材質(zhì)	橡膠圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene
通信方式	RS485、PROFIBUS、EtherCAT，PROFINET，DeviceNet、4～20mA / 0～5V