-
流量規(guī)格
0.5SCCM~5000SLPM -
準(zhǔn)確度
±0.5~1.0%Rd -
工作壓力
5kPaA~2MPaA可選 -
介質(zhì)溫度
-50℃~110℃可選
產(chǎn)品規(guī)格
| 型號(hào) | E100 | E200 | E300 | E400 | E450 |
| 流量規(guī)格 | 20SCCM～500SLPM | 10SCCM～500SLPM | 0.5SCCM～5000SLPM | 2SCCM～2000SLPM | 2SCCM～2000SLPM |
準(zhǔn)確度 | ±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) | ±1.0%Rd(30%～±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%～30%F.S.) | ±1.0%Rd(20%～100%F.S. | ±1.0%Rd(10%～100%F.S.) | ±0.5%Rd(20%～100%F.S.) |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | ±0.2%Rd(20%～100%F.S. | ±0.1%Rd(20%～100%F.S.) | ||
壓力漂移 | ≤±0.1%F.S./100kPa（基準(zhǔn)壓力100kPaA) | ≤±0.1%Rd/100kPa（基準(zhǔn)壓力100kPaA) | |||
溫度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度25℃） | ≤±0.02%F.S./℃（基準(zhǔn)溫度25℃） | |||
| 工作范圍 | 2%～100%F.S. | 1%～100%F.S. | 0.5%～100%F.S. | ||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤100ms | ||||
| 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間 | ≤1s | ||||
| 介質(zhì)溫度范圍 | 0℃～50℃ | -20℃～60℃ | |||
| 環(huán)境溫度范圍 | 0℃～50℃ | -20℃～60℃ | |||
| 滿量程壓損 | 12kPa（≤5SLPM）；60kPa（10SLPM）；8kPa（20~50SLPM）；10kPa（100SLPM）； | ||||
| 耐壓 | 1.5 MPaA | ||||
| 最大工作壓力 | 900kPaA | ||||
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m3/s He | ||||
| 供電電壓 | 24VDC(±20%) | ||||
| 消耗電流 | <150mA（＜3.6W） | ||||
| 安裝方式 | 無指定（任意角度） | ||||
| 氣路接口 | G螺紋、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接氣部材質(zhì) | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材質(zhì) | 橡膠圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、PROFIBUS、EtherCAT，PROFINET，DeviceNet、4～20mA / 0～5V | ||||
應(yīng)用場景
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半導(dǎo)體設(shè)備
氫能及燃料電池技術(shù)
生物發(fā)酵罐的氣體控制
燃燒器控制
真空鍍膜設(shè)備
硅碳負(fù)極等新型材料制備
真空熱處理設(shè)備
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