2022-12
16質量流量計和質量流量控制器可測控的最小流量是多少？
氣體質量流量計（簡稱：MFM）與質量流量控制器(簡稱：MFC)是指主要適用小微流量（從0.000001m3/小時到300m3/小時，對應管徑從直徑3mm到65mm）氣體測量和控制的傳感器和自動化設備。
按照原理分為層流壓差原理和熱式原理兩種氣體質量流量計和控制器。
層流壓差原理圖
MFM/MFC標準型號最小可測控量程為0.5SCCM
易度基于層流壓差原理自主研發設計了氣體質量流量計和質量流量控制器，只需檢測氣體壓差、壓力和溫度，即可測控氣體流量。易度氣體質量流量計和質量流量控制器標準型號最小量程為0.5SCCM（更小量程可定制），0.5SCCM是標準狀況下0.5ml/min（毫升每分鐘），也就是500uL/min（微升每分鐘），按正常量程比100:1來算，其實際測控范圍是5uL/min~500uL/min。
最小測控流量5uL/min是什么概念？